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  • 如何根据应用选择本企业溅射镀膜仪或蒸镀仪



    运用

    装备

    特色

    1

    外部镀贵金属用于薄膜研究(<2”

    同一腔室中3靶头用于贵金属的溅射镀膜

    2

    外部镀各种金属用于薄膜研究(<2”

    磁控溅射镀膜

    最大溅射电流可达150mAƒ可用于溅射各种轻金属如Al,  Sn, Zn 等

    3

    外部镀绝大多数之金属或无机非金属材料薄膜(<2”

    高真空蒸发镀膜仪

    蒸镀温度从200-1500℃(或选配B型热电偶,蒸镀温度可从1200-1700℃

    4

    外部镀氧化物薄膜(<2”

    1英寸或2英寸300W射频等离子磁控溅射仪VTC-2RF


    低成本

    射频电源

    5

    各族资料表面进行光学涂层(多晶)(<4”

    分子泵高真空

    4个蒸镀加热舟

    6

    五金及航天非金属氧化物薄膜的涵义生长(<4”

    安排有直流以及射频电源,分子泵

    可用于各种资料薄膜的涵义生长

    ƒ同时配备测厚仪实时监控薄膜厚度


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    如何为CVD装备选型

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